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RTP退火炉可用于处理12英寸衬底与红外卤素管加热高达1200度
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重要属性
行业属性
保修期
1年
其他属性
原产地
Henan, China
分类
实验室加热设备
支持定做
OEM, ODM
品牌
TN
型号
TN-RTP1000-Diam300-T
尺寸
890*950*1400mm
材料
SS
重量
200 KG
工作电压范围(V)
380 V
产品名称
RTP退火炉
关键词
半导体，退火
应用程序
快速热处理
基板尺寸
12英寸
基板基底
石英针 (SiC涂层石墨底座可选)
温度范围
150-1200 ℃
加热速率
可定制
腔室材料
陶瓷纤维室
温度重复性
± 3 ℃
真空度
5.0e-3托/5.0e-6托
包装和发货信息
销售单位：
单一商品
单品包装尺寸：
89X95X140 厘米
单品毛重：
150.000 公斤
交货时间
| 数量 (sets) | 1 - 2 | > 2 |
| 美国东部时间（天） | 60 | 待定 |
