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用于SiC晶片ICP蚀刻MOCVD基座,半导体工艺设备的SiC涂层石墨托盘板
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Shanghai Xinkehui New Material Co., Ltd.
3 yrs
CN
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重要属性
其他属性
原产地
Shanghai, China
品牌
XINKEHUI
型号
SiC coated Graphite trays
类型
其他
材料
SSiC SiSiC
颜色
黑色
密度
3.12g/cm3
吸水率
0
HRA
大于或等于92
弹性模量
400gpa
抗弯强度 (@ R.T.)
359 mpa
邵氏硬度
58
灰
小于5 ppm
导热系数
100千卡/厘米度
包装和发货信息
销售单位:
单一商品
单品包装尺寸:
25X40X24 厘米
单品毛重:
1.000 公斤
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> 5
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30
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